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半导体行业

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    日新月异的微电子制程,来自于电子材料、工艺和设备的完美结合。随着中国高科技产业的高速成长,电子材料产业已经成为中国最重要的高科技基础产业之一,引领着未来的发展方向。

    广州纳维流体设备科技有限公司致力于为高科技领域的客户提供半导体制程工艺(包括掺杂、沉积、光刻、去胶、刻蚀、清洗等)所需的SiH4、NH3、AsH3、PH3、SiHCl3、SiH2Cl2、HCl、Cl2、NF3、CF4、CHF3、CH3F、CH2F2、SF6、B2H6、N2O、N2、H2、He、O2、Gas  Mixtures 、POCl3、TMA等超高纯电子气体提供供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。从设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务。

    广州纳维流体设备科技有限公司的先进制造基地拥有高标准的洁净厂房,配备高精度CNC、全自动焊接设备及精密检测仪器,以完善的质量保证体系实现精良制造,为客户提供高性价比的设备系统。


我们的产品包括:

  • 高纯气体输送系统

     大宗气体输送设备、超大流量气体输送设备、气柜、气瓶架,以及气体分流柜、分流盘等输送辅助设备

  • 高纯特殊液体输送设备

     POCl3、DEZn、TEOS全自动输送设备,其他各类高纯特殊液体输送设备



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